- 氣體質量流量計
1
量程范圍
（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM
（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM
2
準確度
+1.0%F.S
3
線性
+0.5~1.5%F.S
4
重復精度
+0.2%F.S
5
響應時間
電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6
工作壓差
（0.1~0.5）MPa
7
耐壓
3MPa
8
工作環境溫度
0~70℃
9
數字量
RS485 MODBUS協議
10
模擬量
DC 0~5V ，4~20mA 可選
11
供電
DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12
電氣連接
DB15
13
漏率
1×10-8SCCSHe
14
底座材質
316L不銹鋼
15
密封材質
氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
16
氣路接頭
Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
使用方法和操作步驟
開機操作
檢查各設備連接處應無泄漏現象，，氣源的溫度和壓力應穩定，按照產品說明電路連接正確之后通電。
與流量顯示儀連接
開機操作之后，先將流量顯示儀的閥開關置到“關閉”位，將設定值調到零，再開氣，待零點穩定后，再轉到“閥控”位，然后設定值調到需要的流量值，則實際流量值會跟隨設定值而變化。
與計算機連接
開機操作之后，通過RS485與計算機通訊，之后在計算機上將設定值調到零，再開氣，待零點穩定后，再通過計算機將設定值調到需要的流量值，則實際流量值會跟隨設定值而變化。
關機操作
先斷氣，再將設定值調到零，然后斷電。
注意事項
加裝過濾器
使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。
使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。 使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。
安裝位置問題
本控制器安裝時盡量保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感， 可以任意位置安裝，非水平位置安裝時若發現零點偏移，可以調整零點后在工作。
閥口密封問題
質量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶應另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應該在質量流量控制器進出氣口各加一個截止閥，以保證工作安全。*工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內, 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應進行維修。
標定與不同氣體的換算
本流量質量控制器出廠通常用氮氣(N 2 )標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時與銷售人員特別申明。
用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時，可以通過附錄的轉換系數進行換算。
一般異常情況判斷和處理
現象
可能原因
處理方法
開機后無氣流流過
氣源未開, 氣路不通
接通氣源, 開通氣路
沒有設定目標流量
參照操作詳解3.4
過濾器堵塞
更換過濾器
調節閥故障
檢查閥線圈是否斷, *清洗調節閥
電路故障
維修電路
零點偏差
參照操作詳解3.4
流量控制不穩定
傳感器故障
更換傳感器
電路故障
維修電路
閥門污染
清洗閥門,更換密封件
氣源壓強太低或不穩
提高氣源氣壓，穩定氣源壓強
在閥門關閉的情況下,仍有較大的流量流過
調節閥故障
重新調整調節閥
入口氣壓過高
降低入口氣壓
通道堵塞
清洗MFC通道
流量顯示不能達到滿量程值
設定目標流量低于滿量程
檢查設定值
其它電路故障
維修電路
不通氣時零點不穩,
電路故障
維修電路
傳感器故障
更換傳感器
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