美國產SEM動態原位納米壓痕儀InSEM 

    InSEM是用于原位真空環境下，如SEM或FIB，表征材料表面或結構的機械性能的儀器，具有亞納米級的分辨率。SEM/FIB真空環境被稱為未來的實驗室。在這個微觀環境下，任何測試都有*的特性，如果沒有SEM的定位和微觀成像，許多應用都無法實現。InSEM使得在SEM環境下進行高分辨率的機械行為測試。 

主要特點：

1.模塊設計靈活性高

InSEM為模塊化設計，具有高適應性，能夠適用于各種應用。InSEM能安裝于各種SEM腔體上的接口或直接安裝在SEM臺上。

2.*的連續硬度動態測量功能

連續硬度測量功能可以直接采集壓入過程中的每個載荷和位移數據對應壓入深度的接觸剛度、進而計算出硬度與彈性模量等力學性能作為壓入深度的連續函數。

3.數據采集快捷方便

高速數據采集系統，通過鼠標就可以實時切換測量參量（載荷、位移、硬度、彈性模量和接觸硬度等）；可將所有測試數據輸出為Excel格式，同時顯示二維或三維圖像。

主要參數：

a) 壓頭總的位移范圍 ?70um

b) 位移分辨率   ?0.0002nm

c) 位移的噪音水平   ?0.1nm

d) 加載模式 電磁力加載

e) 位移測量 電容位移傳感器

f) 常規載荷 ?30mN

g) 載荷分辨率   3nN

應用領域：

應用領域涵蓋了各種表面保護和涂層、多相材料和復合材料、生物材料、MEMS/NEMS器件、半導體領域、高分子、陶瓷、玻璃等。主要用于金屬及非金屬材料和薄膜的真空環境下靜態動態原位納米壓痕力學性能測試和物性參量測量試驗。