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國產光刻機技術的持續突破 將促進半導體設備國產化
2024年09月24日 10:19:46
來源：化工儀器網 點擊量：7736
《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024 年版)》中的電子專用裝備目錄下提到，集成電路生產設備方面包括化氟化氪光刻機，光源248納米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
【化工儀器網 行業百態】按照市場監管總局等5部門于今年4月聯合印發的《中國首臺(套)重大技術裝備檢測評定管理辦法(試行)》，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。中國首臺(套)重大技術裝備，是指國內實現重大技術突破、擁有知識產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。
為促進首臺(套)重大技術裝備創新發展和推廣應用，加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同，工信部于9月9日印發《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024 年版)》(以下簡稱《目錄》)通知，在文件列表包含國產氟化氪光刻機(110nm)，和氟化氬光刻機(65nm)等集成電路關鍵生產設備。《目錄》中的電子專用裝備目錄下提到，集成電路生產設備方面包括化氟化氪光刻機，光源248納米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
工信部的一份文件，將國產光刻機研發再度推入公眾的視線。盡管上證指數在過去一周承壓，但A股的光刻機板塊上漲了近5%，成為近期表現比較亮眼的一個板塊。僅9月18日當天，光刻機概念板塊就上漲了5.35%，領漲A股所有概念板塊。個股方面，同飛股份、波長光電錄得20%的漲幅，新萊應材、藍英裝備、海立股份等股價均漲逾9%。龍頭股張江高科一周累計上漲19.28%。
據業內人士分析，此次國產套刻指標≤8nm的氟化氬光刻機，除了目前最先進的CPU、GPU、AI芯片外，普通工業級芯片的生產完全可以使用國產光刻機了。據華金證券研報，全球市場EUV光刻機銷量逐步增長。根據各公司數據，2023年，全球前三大光刻機廠商銷售共計681臺，同比增長21.82%，銷售量創歷史新高，2024Q1全球前三大廠商共計銷售光刻機139臺。
國產光刻機技術的持續突破，讓不少機構都在看好國內晶圓廠的投資增長和國產半導體設備的國產化機遇。業界普遍認為，官方披露核心設備進展也會在一定程度上提振市場信心，國產光刻機相關產業鏈也會受益。
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