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近日，重慶市科學(xué)技術(shù)局發(fā)布四批科研項(xiàng)目計(jì)劃。[詳細(xì)]
預(yù)算335萬(wàn) 上海交通大學(xué)采購(gòu)感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
2023年11月25日 10:02:22
來(lái)源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：6740
近日，上海交通大學(xué)就“感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目（項(xiàng)目編號(hào)：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號(hào)：招設(shè)2023A00204）”發(fā)布招標(biāo)公告，預(yù)算金額為335萬(wàn)元。
【化工儀器網(wǎng) 市場(chǎng)商機(jī)】 感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是一種先進(jìn)的薄膜制備技術(shù)。這種系統(tǒng)通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體(ICP)的方式產(chǎn)生高密度等離子體，使得含有薄膜組成成分的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料的制備。該系統(tǒng)主要應(yīng)用于硅、III-V族化合物半導(dǎo)體、聚合物等襯底材料上，實(shí)現(xiàn)介質(zhì)薄膜(包括氧化硅、氮化硅等)和非晶態(tài)碳化硅等多種薄膜材料的制備。
近日，上海交通大學(xué)就“感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào)：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號(hào)：招設(shè)2023A00204)”發(fā)布招標(biāo)公告，預(yù)算金額為335萬(wàn)元。該招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在上海市四平路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室獲取招標(biāo)文件，并于2023年12月15日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)前遞交投標(biāo)文件。
項(xiàng)目基本情況
項(xiàng)目編號(hào)：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號(hào)：招設(shè)2023A00204
項(xiàng)目名稱：上海交通大學(xué)感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
預(yù)算金額：335.000000 萬(wàn)元(人民幣)
最高限價(jià)(如有)：335.000000 萬(wàn)元(人民幣)
采購(gòu)需求：
項(xiàng)目概況：該設(shè)備通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
采購(gòu)需求：
設(shè)備名稱：感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
數(shù)量：1套
簡(jiǎn)要技術(shù)參數(shù)：2.1 反應(yīng)腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無(wú)焊縫、低漏率。側(cè)壁帶加熱功能?！?.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無(wú)需反應(yīng)腔室的開(kāi)腔破真空。其余詳見(jiàn)“第八章 貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”
設(shè)備用途：該設(shè)備通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
交貨期：簽訂合同后11個(gè)月內(nèi)
交付地點(diǎn)：上海交通大學(xué)用戶指定地點(diǎn)
合同履行期限：簽訂合同后11個(gè)月內(nèi)
本項(xiàng)目( 不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。
申請(qǐng)人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定；
2.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求：
本項(xiàng)目為機(jī)電產(chǎn)品國(guó)際招標(biāo)項(xiàng)目，相關(guān)法規(guī)與政策均按照《機(jī)電產(chǎn)品國(guó)際招標(biāo)投標(biāo)實(shí)施辦法(試行)》執(zhí)行。
3.本項(xiàng)目的特定資格要求：1)投標(biāo)人為制造商時(shí)，須提供制造商資格聲明函(見(jiàn)格式 IV-9-2)；投標(biāo)人為代理商時(shí)，須提供資格聲明函(見(jiàn)格式 IV-9-3)及制造商提供的針對(duì)本項(xiàng)目的授權(quán)書(shū)(見(jiàn)格式 IV-9-4)；2)投標(biāo)人開(kāi)戶銀行在開(kāi)標(biāo)日前三個(gè)月內(nèi)開(kāi)具的資信證明原件或復(fù)印件；3)投標(biāo)人須在投標(biāo)截止期之前在國(guó)家商務(wù)部指定的機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)(以下簡(jiǎn)稱機(jī)電產(chǎn)品交易平臺(tái))上完成有效注冊(cè)；4)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
獲取招標(biāo)文件
時(shí)間：2023年11月24日 至 2023年12月01日，每天上午9:00至12:30，下午12:30至17:00。(北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外)
地點(diǎn)：上海市四平路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室
方式：(1)投標(biāo)人報(bào)名時(shí)須先登錄“上海交通大學(xué)數(shù)字化采購(gòu)平臺(tái)” 供應(yīng)商注冊(cè)進(jìn)行網(wǎng)上注冊(cè)并實(shí)名認(rèn)證。(2)注冊(cè)轉(zhuǎn)賬之后，請(qǐng)務(wù)必發(fā)郵件說(shuō)明。郵件主題包含：投標(biāo)人名稱+項(xiàng)目編號(hào)+項(xiàng)目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā)送至zjzb2022@126.com。
售價(jià)：￥500.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和
提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開(kāi)標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)
提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2023年12月15日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)
開(kāi)標(biāo)時(shí)間：2023年12月15日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)
地點(diǎn)：上海市四平路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室
公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日。
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