化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
移動端訪問更便捷
今日焦點 Today's Focus
查看更多+-
干貨滿滿！“第四屆地質(zhì)與稀土樣品處理及檢測技術(shù)專場線上研討會”邀你報名
2025年5月15日14：00，化工儀器網(wǎng)特舉辦“第四[詳細(xì)]
工信部對《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)公開征集意見
2023年11月17日 10:46:04
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：19274
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排，現(xiàn)將申請立項的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項目和《環(huán)境污染防治設(shè)備 術(shù)語》等38項推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計劃項目予以公示（見附件1、2、3），截止日期為2023年12月16日。
【化工儀器網(wǎng) 標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布】 半導(dǎo)體設(shè)備是集成電路制造的核心設(shè)備之一，對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有至關(guān)重要的作用。為了適應(yīng)行業(yè)發(fā)展需求，提高設(shè)備性能和質(zhì)量，工信部制定了《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)、測試方法、操作規(guī)程等方面的內(nèi)容。
這196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)涉及了半導(dǎo)體設(shè)備的多個方面，包括設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)、測試方法、操作規(guī)程、維護(hù)保養(yǎng)等方面的內(nèi)容。其中，《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》主要規(guī)定了集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備的測試方法，包括設(shè)備的性能測試、可靠性測試、安全性測試等方面的內(nèi)容。
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排，現(xiàn)將申請立項的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項目和《環(huán)境污染防治設(shè)備 術(shù)語》等38項推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計劃項目予以公示(見附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。
具體原文如下：
公開征集對《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、1項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版和38項推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計劃項目的意見
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排，現(xiàn)將申請立項的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項目和《環(huán)境污染防治設(shè)備 術(shù)語》等38項推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計劃項目予以公示(見附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。如對擬立項標(biāo)準(zhǔn)項目有不同意見，請在公示期間填寫《標(biāo)準(zhǔn)立項反饋意見表》(見附件4)并反饋至我司，電子郵件發(fā)送至KJBZ@miit.gov.cn(郵件主題注明：標(biāo)準(zhǔn)立項公示反饋)。
公示時間：2023年11月16日-2023年12月16日
聯(lián)系電話：010-68205241
地址：北京市西長安街13號 工業(yè)和信息化部科技司
郵編：100804
附件：
1.《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計劃(征求意見稿)
2.《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版計劃(征求意見稿)
3.《環(huán)境污染防治設(shè)備 術(shù)語》等38項推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)制修訂計劃(征求意見稿)
4.標(biāo)準(zhǔn)立項反饋意見表
工業(yè)和信息化部科技司
2023年11月16日
相關(guān)閱讀 Related Reading
查看更多+-
我國自主研發(fā)機(jī)載大氣探測設(shè)備打破技術(shù)壁壘
5月10日，我國自主研發(fā)的機(jī)載大氣參數(shù)測量系統(tǒng)、自研熱線含水量儀(LWC)在數(shù)據(jù)采集的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性方面表現(xiàn)優(yōu)異，測得的經(jīng)度、緯度...2025-05-15 14:22:53 -
預(yù)算209.5萬元 甘肅省嘉峪關(guān)生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心采購環(huán)境監(jiān)測設(shè)備
近日，甘肅省嘉峪關(guān)生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心委托甘肅眾信招標(biāo)咨詢有限公司組織公開招標(biāo)，采購臭氧分析儀、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀等儀器設(shè)備，預(yù)算...2025-05-13 10:24:01 -
項目名稱：福建漳州核電廠3、4號機(jī)組安全級導(dǎo)波雷達(dá)液位變送器，項目編號：0739-254CNEIC2D02，招標(biāo)范圍：福建漳州核電...2025-05-09 14:36:56
-
近日，我國科學(xué)家研制出基于“鎧甲”傳感材料的抗硫中毒的便攜式硫化氫氣體檢測儀，將為相關(guān)行業(yè)提供更加便捷、高效的檢測解決方案。2025-04-30 11:09:56
-
預(yù)算911萬元 蘭州新區(qū)生態(tài)環(huán)境局采購揮發(fā)性有機(jī)物監(jiān)測儀器
近日，蘭州新區(qū)生態(tài)環(huán)境局委托甘肅中鑫項目管理咨詢有限公司組織公開招標(biāo)，為化工園區(qū)揮發(fā)性有機(jī)物監(jiān)管能力提升采購車載 VOCs 監(jiān)測系...2025-04-30 09:30:04 -
預(yù)算794.8萬元 伊犁哈薩克生態(tài)環(huán)境局采購一批細(xì)顆粒物檢測儀器
伊犁哈薩克自治州生態(tài)環(huán)境局就“伊犁州細(xì)顆粒物組分監(jiān)測能力建設(shè)項目”發(fā)布招標(biāo)公告，預(yù)算794.8萬元。2025-04-25 13:10:20
版權(quán)與免責(zé)聲明
- ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
