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　　【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)百態(tài)】作為數(shù)字時(shí)代的底層支撐，在數(shù)字經(jīng)濟(jì)、新冠肺炎疫情和地緣政治三重因素疊加作用下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)國(guó)家安全的重大意義，對(duì)人民生活的深遠(yuǎn)影響越來(lái)越突出。
 

　　隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向小型化和集成化方向發(fā)展，微米量級(jí)的器件尺寸對(duì)測(cè)試技術(shù)提出新的挑戰(zhàn)，此外，作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，高純金屬材料、高純氣體、高純水和光刻膠等高純材料的痕量分析不斷有新的需求，材料的純度決定著半導(dǎo)體器件工藝的高度，多年來(lái)，分析科學(xué)家及儀器廠商一直在不斷努力提升半導(dǎo)體器件和高純材料的測(cè)試精度和效率。
 

　　基于此，化工儀器網(wǎng)于2022年10月20日舉辦“半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用”線上論壇，邀請(qǐng)專家深入探討半導(dǎo)體行業(yè)超精密分析需求、半導(dǎo)體器件超精密測(cè)量技術(shù)動(dòng)態(tài)、半導(dǎo)體高純材料的研究動(dòng)態(tài)和技術(shù)進(jìn)展、質(zhì)譜/光譜/色譜等痕量分析技術(shù)動(dòng)態(tài)及應(yīng)用案例、工業(yè)CT/核磁/電鏡等檢測(cè)技術(shù)的動(dòng)態(tài)及應(yīng)用案例，以期為從事半導(dǎo)體器件以及相關(guān)高純材料開(kāi)發(fā)、超精密分析技術(shù)研究的科研人員和企業(yè)研發(fā)人員開(kāi)拓思路，助力半導(dǎo)體行業(yè)健康發(fā)展。
 

　　會(huì)議日程
 

會(huì)議日程
 

　　講師介紹
 

　　西安交通大學(xué)教授、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目首席 楊樹(shù)明
 

　　博士生導(dǎo)師，國(guó)際納米制造學(xué)會(huì)(ISNM)會(huì)士、國(guó)家杰出青年基金獲得者、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目首席、教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才、陜西省重點(diǎn)科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)帶頭人等。承擔(dān)國(guó)家及省部級(jí)重大重點(diǎn)項(xiàng)目20余項(xiàng)，發(fā)表學(xué)術(shù)論文170多篇；授權(quán)/公開(kāi)國(guó)際國(guó)內(nèi)發(fā)明專利90多件，獲省部級(jí)和國(guó)家行業(yè)學(xué)會(huì)等科技獎(jiǎng)勵(lì)7項(xiàng)。研究成果入選中國(guó)科協(xié)首屆“科創(chuàng)中國(guó)”先導(dǎo)技術(shù)榜單，擔(dān)任中國(guó)科協(xié)首屆“科創(chuàng)中國(guó)”半導(dǎo)體芯片檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新基地負(fù)責(zé)人。被遴選為亞洲精密工程與納米技術(shù)學(xué)會(huì)(ASPEN)理事、中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)常務(wù)理事等。在國(guó)際國(guó)內(nèi)學(xué)術(shù)會(huì)議應(yīng)邀做大會(huì)報(bào)告和特邀報(bào)告50余次，擔(dān)任JMS、IJPEM-GT、IJRAT、NMME、MST、PE、IJAMT、Photonics等國(guó)際期刊編委和客座編委以及多個(gè)國(guó)內(nèi)期刊責(zé)任編委和編委等。
 

　　天津三英精密儀器股份有限公司應(yīng)用工程師 李策
 

　　畢業(yè)于天津大學(xué)，現(xiàn)就職于天津三英精密儀器股份有限公司市場(chǎng)拓展部，任應(yīng)用工程師一職。主要負(fù)責(zé)X射線三維CT成像技術(shù)的應(yīng)用拓展，熟悉CT技術(shù)在電子制造、鋰電池、新材料、航空航天、巖土、地質(zhì)、動(dòng)植物、3D打印等領(lǐng)域的應(yīng)用，擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)和應(yīng)用案例，了解X射線三維CT成像技術(shù)在各行業(yè)應(yīng)用研究中的技術(shù)需求。
 

　　北京大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體研究中心高級(jí)工程師 楊學(xué)林
 

　　國(guó)家優(yōu)秀青年科學(xué)基金獲得者。北京大學(xué)博士，東京大學(xué)博士后。近年來(lái)主要圍繞Si襯底上GaN基功率電子材料和器件開(kāi)展研究工作，在Si襯底上GaN厚膜及其異質(zhì)結(jié)構(gòu)的MOCVD外延生長(zhǎng)、C雜質(zhì)相關(guān)缺陷研究等方面取得了多項(xiàng)成果。迄今共發(fā)表SCI論文100余篇，包括以第一作者/通訊作者在Phys. Rev. Lett., Adv. Funct. Mater., Appl. Phys. Lett.等期刊上發(fā)表SCI論文30余篇。在本領(lǐng)域國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)會(huì)議上做邀請(qǐng)報(bào)告近20次，申請(qǐng)/授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利13件。主持國(guó)家自然科學(xué)基金委優(yōu)青項(xiàng)目、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)課題等10余項(xiàng)科研項(xiàng)目，擔(dān)任Physica Status Solidi雜志客座編輯，Crystal雜志客座編輯。
 

　　牛津儀器納米分析部應(yīng)用科學(xué)家 馬嵐
 

　　2012年獲得上海交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院博士學(xué)位，博士研究鎂合金的時(shí)效強(qiáng)化機(jī)制及變形機(jī)制，主要利用TEM、SEM、EBSD等手段進(jìn)行表征。2012-2015年間在日本物質(zhì)材料研究所進(jìn)行博后工作，期間研究的課題為高強(qiáng)韌鎂合金的開(kāi)發(fā)及磁性材料微結(jié)構(gòu)表征，利用HAADF-STEM、SEM、EBSD及3DAP進(jìn)行材料表征，熟悉掌握FIB及納米操作手。2015年回國(guó)加入牛津儀器公司，主要負(fù)責(zé)能譜、EBSD、OP的推廣及技術(shù)支持。
 

　　浙江大學(xué)教授、中國(guó)儀器儀表協(xié)會(huì)分析儀器分會(huì)理事/離子色譜專家組組長(zhǎng) 朱巖
 

　　承擔(dān)國(guó)家及省部級(jí)各類項(xiàng)目30 余項(xiàng)，發(fā)表學(xué)術(shù)論文 300 多篇，授權(quán)發(fā)明專利 30 多項(xiàng)，獲浙江省科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)、湖北省科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)、國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局科技興檢獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)等省部獎(jiǎng)勵(lì)10多項(xiàng)；在國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議應(yīng)邀做大會(huì)報(bào)告和特邀報(bào)告 20 余次，擔(dān)任《分析試驗(yàn)室》副主編，《色譜》和《中國(guó)無(wú)機(jī)分析化學(xué)》編委。
 

　　賽默飛應(yīng)用科學(xué)家 李小波
 

　　賽默飛世爾科技色譜質(zhì)譜部痕量元素分析應(yīng)用專家，服務(wù)賽默飛超過(guò)20年，長(zhǎng)期從事無(wú)機(jī)元素產(chǎn)品的應(yīng)用開(kāi)發(fā)和客戶培訓(xùn)指導(dǎo)工作，尤其是在ICP質(zhì)譜分析技術(shù)上積累了豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，為各領(lǐng)域客戶提供有效的技術(shù)支持。
 

　　天津大學(xué)精密儀器工程系副系主任 徐宗偉
 

　　天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，英才副教授，博導(dǎo)，研究領(lǐng)域:寬禁帶半導(dǎo)體器件、超快能量束(離子、fs激光)加工、拉曼及熒光光譜表征、微納加工機(jī)理、微刀具制備及納米切削技術(shù)。中國(guó)電子顯微鏡學(xué)會(huì)聚焦離子束專業(yè)委員會(huì)委員。主持國(guó)家級(jí)項(xiàng)目11項(xiàng)，5項(xiàng)國(guó)家自然基金委資助的國(guó)際合作交流項(xiàng)目，其中一項(xiàng)被英國(guó)皇家學(xué)會(huì)列入“牛頓基金”。在Journal of Materials Chemistry C頂級(jí)期刊等上發(fā)表SCI論文50余篇，獲天津市技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。
 

　　徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司應(yīng)用工程師 包沈源
 

　　華東理工大學(xué)先進(jìn)材料與制備技術(shù)博士、物理化學(xué)博士后。2020.07入職徠卡顯微系統(tǒng)，從事電鏡制樣應(yīng)用工程師，涉及新能源、半導(dǎo)體器件、石油化工、高分子材料、生物組織等領(lǐng)域。
 

　　東華理工大學(xué)副教授 徐加泉 
 

　　徐加泉，博士，副教授，東華理工大學(xué), 江西省質(zhì)譜科學(xué)與儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。主要從事混雜樣品直接質(zhì)譜分析原理、裝置、方法及應(yīng)用研究。近年來(lái)，在Angew. Chem. Int. Ed.、Anal. Chem.、Sci. China Chem.等學(xué)術(shù)期刊發(fā)表SCI論文30余篇，獲授權(quán)專利8件，主持國(guó)家自然科學(xué)基金、江西省杰出青年基金等國(guó)家級(jí)和省部級(jí)項(xiàng)目5項(xiàng)，作為技術(shù)負(fù)責(zé)人參與國(guó)家重大科研儀器項(xiàng)目1項(xiàng)。現(xiàn)任《Chinese Chemical Letters》(中國(guó)化學(xué)快報(bào))、《Journal of Analysis and Testing》青年編委。
 

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