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預(yù)算663萬 華東師范大學(xué)采購反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)等設(shè)備
2022年03月17日 15:20:31
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：吳吳吳 點擊量：5045
華東師范大學(xué)預(yù)算663.0789萬，采購反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)和感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。
【化工儀器網(wǎng) 市場商機】華東師范大學(xué)成立于1951年10月16日，是由國家舉辦、教育部主管，教育部與上海市人民政府重點共建的綜合性研究型大學(xué)，1996年被列入“211工程”國家重點建設(shè)大學(xué)行列，2006年教育部和上海市決定重點共建華東師范大學(xué)，學(xué)校進入國家“985工程”高校行列。
近日，華東師范大學(xué)就“華東師范大學(xué)反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)、感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)項目”發(fā)布公開招標公告，預(yù)算663.0789萬，采購反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)和感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，項目情況如下。
項目基本情況
項目編號：0773-2240SHHW0019
項目名稱：華東師范大學(xué)反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)、感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)項目
預(yù)算金額：663.0789000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：663.0789000 萬元(人民幣)
采購需求：
項目名稱：華東師范大學(xué)反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)、感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)項目
包件1：反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)；
數(shù)量及單位：1臺；
簡要技術(shù)參數(shù)：
3、等離子體源
3.1、射頻發(fā)生器：最大功率300瓦，13.56MHz，帶自動匹配單元；
★3.2、ICP源發(fā)生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，帶自動匹配單元；
包件2：感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)；
數(shù)量及單位：1臺；
簡要技術(shù)參數(shù)：
★1、SiO2的標準沉積速率：≥40 nm/min；高速沉積速率：≥500 nm/min
2、SiO2薄膜沉積厚度：≥6um。
其余詳見本項目招標文件。
合同履行期限：自合同簽訂之日起250天內(nèi)；
本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。
申請人的資格要求
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本項目為機電產(chǎn)品國際招標項目，相關(guān)法規(guī)與政策均按照《機電產(chǎn)品國際招標投標實施辦法(試行)》執(zhí)行。
3.本項目的特定資格要求：詳見附件。
獲取招標文件
時間：2022年03月17日 至 2022年03月24日，每天上午9:30至11:30，下午13:00至16:00。(北京時間，法定節(jié)假日除外)
地點：上海市虹口區(qū)四平路200號盛泰國際大廈606室
方式：因疫情影響，僅支持直接網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2022年04月07日 09點30分(北京時間)
開標時間：2022年04月07日 09點30分(北京時間)
地點：上海市虹口區(qū)四平路200號盛泰國際大廈606室
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