高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統在中國科技大學安裝

孚光精儀高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統日前在中國科技大學中科院量子信息重點實驗室安裝成功,成為代表我公司飛秒激光微加工光刻機裝備和服務水平的又一力作.

這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統具有當今上飛秒激光直寫光刻微加工的水平,為中國科技大學科學研究提供可靠保障,可廣泛用于紫外飛秒微加工,飛秒微納加工和飛秒精細加工的各種應用.
這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統有全自動化控制加工功能,自動樣品納米級定位系統，自動調整激光偏振和激光能量調整功能，真正實現了省心，操作，非常適合激光微納加工的探索研究。
紫外飛秒激光與物質的相互作用是jianduan的課題，紫外光具有更高的光子能量，對材料的微納加工更具優勢，紫外波段超快激光與物質的相互作用值得探索，然而紫外飛秒激光的穩定應用相比于基頻光更為困難，這一難題在孚光精儀歐洲中心突破后，實現媲美基頻光的穩定性和可靠性，并發射出適合科學研究的激光能量。